将CF4和O2输入等离子体机真空室后,郡士马克笔的附着力怎么样在等离子体发生器高频高压电场的作用下,CF4和O2气体发生离解或相互作用,生成含有自由基、原子、O2+CF2O+OF+CO+COF+F+e+等离子体中的自由基和正离子与孔壁上的聚合物有机材料(C, H, O, N)发生反应。真空等离子清洗