我们设计的低温等离子体处理设备保证了等离子体的均匀分布性，达因值大干净吗使得工艺质量在同一处理或不同批处理中具有良好的重复性。其关键在于设备的电极板设计、气体流动、气体排气及真空度上。(2)电极一组平行的金属板电极依次按电源正/负极交替排列，供印制板放置在等离子体原始区域中。等离子体原始区域集中了密
