因此在等离子表面处理机三明治结构的蚀刻中，表面接枝聚合物刷改性方法加入了特征尺寸修整步骤(Trim)。修整步骤以具有较少副产物的高氟碳比气体的各向同性蚀刻为主，如CF4或者NF3等气体蚀刻。修整步骤的蚀刻时间与特征尺寸的变化关系，称之为修整曲线(Trim Curve)。通过修整曲线，找出修整T步的线
