（1）化学反应化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(02)、甲烷(CF4)等，路面附着力增大是什么原因这些气体在等离子体中反应成高活性自由基，方程是这些自由基会进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面反应。压力较高时，有利于自由基的产生。因此，如果化学反应是主要
