3.真空度的选择:适当提高真空度可以使电子运动的平均自由程变大，什么情况路面附着力会变大因此从电场中获得的能量大，有利于电离。其他时氧气流量会准时，真空度越高，氧气的相对份额越大，产生的活性颗粒浓度也就越大。但是，如果真空度过高，活性颗粒的浓度会下降。。等离子清洗机选用的非反应气体效果机理等离子清洗
