表面由于化学反应。物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子清洗。也称为溅射蚀刻 (SPE)。示例：Ar + e- → Ar ++ 2e-Ar ++ 污染 → 挥发性污染Ar + 在自偏压或外部偏压的作用下被加速以产生动能，表面活化处理有哪些这通常反过来激活表面能，同时去除氧化物、环氧树脂溢出物或颗粒
