氩气本身是一种惰性气体，表面活化性剂融入溶剂等离子体氩不与表面发生反应，但会通过离子冲击清洁表面。典型的等离子化学清洗工艺是氧等离子清洗。等离子体产生的氧自由基具有很强的反应性，很容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳和水等挥发物，从而去除表面污染物。 基于物理反应的等离子清洗，也称为溅射刻蚀（
