超声波等离子体的反应是物理反应，表面改性物质的作用是什么高频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。由于超声波清洗对被清洗表面的影响最大，因此在现实世界的半导体制造应用中经常使用两种清洗方法，即射频和微波。使用超声波清洗时，去除表面的粘合剂和毛刺最有效。一种常见的物理化学清
