因此，青岛等离子体表面改性设备射频等离子清洗装置的激发频率越高，电子功率吸收越高，相应离子冲击的能量就越低。关于微波等离子清洗机的放电，这种清洗是自偏的，离子浓度高，离子能量低，主要有表面波式和电子回旋共振式两种方式。前者一般是商业清洗。辐射的微波电磁场直接分解气体并实现放电。没有离子加速，电子密度
