图5 低气压等离子体发生器低气压等离子体发生器 一种低气压气体放电装置，固体颗粒表面化学改性方法一般由三部分组成：产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气（或反应气）供给系统。通常有四类：静态放电装置（图5之a）、高压电晕放电装置(图5之b)、高频（射频）放电装置（有3种类型，图5
