但其极低的表面活性和突出的非粘性使其难以与底物复合，显影蚀刻退膜DES为什么叫DES从而限制了其应用。等离子刻蚀机又称等离子刻蚀机、等离子平面刻蚀机、等离子表面处理仪器、等离子清洗系统等，等离子刻蚀机技术是干法刻蚀中常见的一种形式，原理是暴露在电子区的气体形成等离子体，产生离子体并释放出由高能电子组
