从器件结构的角度来看,薄膜附着力影响因素靠近栅极的偏移侧壁的宽度尺寸可以通过LDD相对于栅极的位置,或者LDD掺杂与栅极底部之间的距离来控制,如下: 增加。控制栅漏重叠容量 (CGDO)。 ) 目标。然后后主墙(MAINSPACER)变得高度集中由于源区和漏区是嵌入的,因此可以保留LDD区,同时形成