当仅改变施加电压的幅值时，芯片蚀刻和光刻的区别施加电压与放电电流的关系如图(a)～图(f)所示。然后通过记录这6种放电模式的放电，得到下图所对应的等离子体羽流的数码照片，这些照片的曝光时间为2s。。研发室等离子清洁剂详情-等离子清洁剂：什么是真空等离子体？真空等离子体是在气体真空室内通过电离形成等离
