倒装芯片键合前的清洗 在倒装芯片封装中，芯片等离子刻蚀机可以对芯片和载体进行等离子清洗以提高表面活性，然后倒装芯片键合可以有效地防止或减少空洞并提高附着力。另一个特点是增加了填充物的边缘高度，提高了封装的机械强度，减少了由于材料之间的热膨胀系数不同而在界面之间形成的剪切应力，提高了产品的可靠性。来改
