超声等离子体的自偏置约为0V，良好的附着力有哪些射频等离子体的自偏置约为250V，微波等离子体的自偏置很低，仅为几十伏，三种等离子体的机理不同。超声波等离子体的反应是物理反应，射频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。超声波等离子体清洗对被清洗表面有很大的影响，因此射频等
