特点：1、13.56MHz射频电源、微波电源、中频电源均可选择；2.关键射频电源微波功率元件均为自制，自制表面活化剂有哪些设备性价比高；3.空腔容积：30-3000升；4.所用气体：氩(AR)/氮气(N2)/压缩空气(CDA)/CF4/等气体；5.在线真空等离子清洗机可定制连接客户装配线，实现自动化
