3、等离子表面处理技术需要替代复杂的表面损伤对策。由于金属氧化物会与工艺气体发生化学反应，等离子体物理与聚变能 pdf因此必须使用氢气或氩气的混合物。也可以使用两步处理过程。首先氧化5分钟，然后与氢气和氩气混合以去除表面氧化物。也可以同时处理多种气体。等离子等离子表面处理技术需要增加材料表面的润湿性
