电源的频率越高，羟基羧基醚基对铜的附着力等离子体密度越高，相应的电荷积累越严重，因此PID问题变得更加严重，并且在供电时PID恶化。然而，应仔细考虑频率选择，因为高频功率对于控制蚀刻中的聚合物副产物很重要。蚀刻钝化层时，过蚀刻时间不会显着影响 PID。这是因为接收天线是铜的，而金属层是用钨蚀刻的，导
