这在接触孔与天线的比例非常小时（例如20）会导致PID问题，线缆等离子除胶机但对于高层金属，直到天线比例在数千个时才会出现PID问题。.. ..金属层蚀刻的过蚀刻时间越长，PID越差。高频功率与低频功率之比越高，PID 越差。PID的问题是电源的频率越高，等离子体密度越高，相应的电荷堆积越严重，这使
