它在惰性材料表面产生活性基团，等离子雾化制粉设备增加表面极性，增加表面能。与烧灼相比，等离子处理设备对整个表面的处理非常均匀，不会损坏样品，同时不会产生有毒气体。它还可以处理带有孔或间隙的样品。 3.表面蚀刻在等离子蚀刻过程中，被蚀刻的物体由于过程的作用而蒸发（例如，当使用氟气蚀刻硅时）。基板的溶剂
