在清洗过程中，等离子表面处理仪生产等离子体中化学活性成分的浓度越高，清洗效果就越好。用等离子射流清洗玻璃表面，除机械作用外，主要是活性氧的化学作用，即等离子体中Ar*的激发态。激发氧分子到激发氧原子Ar * + O2 → O + O * + Ar (1) Ar * + O → O + Ar (2)高
