产物分子分解形成气相； 5.反应残余物与表面分离。产生等离子体的装置将两个电极安装在密闭容器中以产生电场，等离子蚀刻气体要求并使用真空泵达到一定的真空度。电场起作用并且它们碰撞形成等离子体。这些离子具有高反应性，它们的能量足以破坏几乎所有的化学键，从而在暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具
