电晕中有正负电荷、亚稳态分子和原子。另一方面，电晕机表面处理的原理当各种活性颗粒在被清洗物体表面相互接触时，各种活性颗粒会与物体表面杂质的污垢发生反应，形成挥发性气体等物质，从而将挥发性物质抽入真空泵。例如，ROS电晕氧化材料表面的有机物质。相反，各种活性颗粒会轰击清洁材料表面，使污染在材料表面的杂
