低气压放电系统通常由真空室（典型尺度为几个厘米）、配气系统及馈入电能的电极（或天线）构成。在低气压下，等离子清洗设备不适用于放电过程发生在所谓的辉光区，此时等离子体几乎占据整个放电室，这与大气压丝状放电模式下观察的现象形成鲜明的对照。低气压辉光放电中，放电室中大部分区域充满准中性等离子体，在等离子体
