等离子清洗机分类1.按反应类型划分等离子体与固体表面的反应可分为物理反应（离子轰击）和化学反应。物理反应机理是活性粒子轰击待清洗表面，等离子清洗机电子元件使污染物离开表面，zui最终被真空泵吸走；其化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应产生挥发性物质，然后通过真空泵将挥发性物质吸走。以物理反应为主的
