等离子清洗技术等离子体清洗技术是采用气体作为清洗介质，由于没有使用液体清洗介质，故不会带来二次污染。等离子体清洗设备在工作时真空清洗腔中的等离子体轻柔冲刷待清洗表面，在很短的时间内就可以把污染物彻底的清洗掉，同时使用真空泵把污染物抽走，该种方法的清洗程度可以达到分子级的。等离子技术在工件表面的清洗去
