等离子蚀刻产生的系统都将和氧气一起工作。氧常常被用于清洗非金属材质，等离子旋转电极雾化制粉设备危险辨识比如玻璃，塑料和聚四氟乙烯。和其余类型的等离子体一样，氧能清洗有机物，并对其进行表面改性。 等离子体发生器将清洁塑料样品的表面，增加它的附着性。如果氧等离子体与氩气混合，也可用于清洁金属表面。氩使金
