氮氢混合工艺气体排放和氩工艺气体排放如下： 1.氮+氢混合工艺气体排放图中所示装置为水平电极式真空等离子清洗装置，等离子发电机选用的工艺气体为混合气体。氮和氢。 2.氩工艺气体放电图中所示装置为复合电极真空等离子清洗机，选用的气体为氩气。。真空等离子电源干式螺杆真空泵及其特点：干式真空泵是干式机械真
