无论是手动控制还是全自动控制，等离子体灰化如果真空度保持在一个恒定值，单靠蒸汽流量计是不能满足要求的。如果能灵活地控制真空泵电机的转速，就可以很容易地将真空度控制在设定的范围内。当内腔真空度小于或等于设定值时，真空低温等离子清洗机的真空泵电机的速比根据该值全自动调节，额定输出在额定输出范围内。电机设
