(3) 如果真空室或管道有泄漏，等离子体清洁原理检查各接头和真空室的密封。 (4) 检查系统参数设置。 9 吸尘器真空度太低，系统自动关机。检查供气是否正常。 (1)进气流量太小，无法维持真空度。 (2)流量计故障：流量计堵塞或损坏。 (3)检查气路减压表和电磁阀是否工作正常。 (4) 检查系统参数
