化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、四氟化碳(CF4)等，等离子体是不是晶体这些气体在等离子体中反应成高活性自由基，方程是这些自由基会进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面反应。压力较高时，有利于自由基的产生。因此，如果化学反应是主要反应，就需要控制
