控制器根据逻辑计算，端子plasma刻蚀将结果输出到控制器的输出接线端子、小继电器驱动器的位置、小继电器驱动器的接触点和真空泵的接触点。接通和断开真空泵电磁线圈的接触点，然后接通和断开真空泵电机的三相电源。2-2自动控制方法全自动控制是指按下全自动按钮即可以全自动的姿态执行。真空泵的启动和停止，是按
