英特尔公司2011年用22nm节点工艺推出了商业化的 FINFET:2014年底,福建射频等离子清洗机供应三星公司实现了14 nm FINFET工艺量产,为未来的移动通信设备提供更快、更省电的处理器。紧随其后,台积电公司2015年推出增强型16 nm FINFET+。需要注意的是,福建射频等离子清洗