在短时间内（有机）污染物被外部真空泵完全去除，硅片等离子体表面清洗机其清洁能力可以达到分子水平。也可以在某些条件下改变样品的表面性质。使用气体作为清洗剂可以有效防止样品再次污染。等离子清洗机不仅提高了试片的附着力、相容性和润湿性，还可以对试片进行杀菌（毒）（杀菌）。如今，等离子清洁器广泛应用于光学、
