2、等离子清洗气体进入真空室，真空镀膜附着力测量并保持真空室压力稳定。根据清洗材料的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、氟等气体。在真空室中，在电极与接地装置之间施加高频电压，使气体通过辉光放电被击穿、电离，形成等离子体。加工工件在真空室产生的等离子体中被完全涂覆，清洗操作开始。一般清洗过程持续
