一些电子被收集在要蚀刻的金属的侧壁上，真空等离子表面处理机厂但离子没有，因此负电荷会在金属的侧壁上积聚，从而在设备上产生负电位。 (5) 真空紫外辐射。等离子放电会产生大量的 VUV 光子，这些光子会在栅极氧化层中产生光电流并损坏器件。氮化硅在栅极上方的覆盖层中比氧化硅具有更窄的带隙，可有效吸收和阻
