它导致了血浆发光。温控系统通常用来控制腐蚀速度。60到90度之间的温度比周围环境温度的等离子腐蚀快4倍。对温敏元件或使用温度敏感元件，三明真空等离子清洗的干式螺杆罗茨真空泵特点等离子蚀刻可降至15摄氏度。 所有的温度控制系统都是预先编程并集成到软件中。将不同的气体引入空腔，能够对过程做好修改。常见气
