等离子清洗由于其优良的均匀性、重现性、可控性、节能环保等优点，真空等离子体试验应用范围十分广泛。在等离子清洗过程中，氧变成含有氧原子自由基、激发氧分子和电子等粒子的等离子。这种等离子体-固体表面反应可分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理 活性颗粒与待清洁表面碰撞，污染物从表面被清除并被真
