样品放入反应室，真空等离子体清洁器真空泵开始抽到一定真空度，启动电源就产生等离子体。气体通过反应室中的等离子体进入反应室，与样品表面反应，产生挥发性副产物，由真空泵抽出。真空等离子体清洁器等离子体是电中性的：一般等离子体是电中性的，但当受到扰动时，等离子体内部会发生局部电荷分离，产生电场。等离子清洗
