由于等离子体表面处理器的中性粒子束刻蚀基本不会产生电荷积累和（真空）紫外光子辐射，江苏真空低温等离子处理机厂家而且，产生的粒子反应能很低，因此等离子体表面处理器将极有可能适用于7nm以下鳍片场效应晶体管中硅衬底的刻蚀，以及5nm以下碳纳米管或石墨烯器件的精确无损刻蚀。。近年来，具有特殊性质的等离子体
