结果表明：ECR等离子体刻蚀后，盖板等离子表面处理玻璃表面形成尖峰纳米结构，平均尺寸约为80～140nm，玻璃的可见光透过率得到有效提高，特别是偏压刻蚀后，透过率从91%提高到94.4%。同时，玻璃表面亲水性增强，接触角θ由47.2变为7.4，自清洁性能提高。对于太阳能电池盖板玻璃来说，其透过率直接
