如果频率高于 1GHZ，盖板plasma表面清洗设备过孔寄生效应对信号完整性的影响不容忽视。过孔则表现为传输路径上的不连续阻抗断点、反射、延迟以及信号衰减和其他信号完整性问题。当信号通过过孔传输到另一层时，信号线的参考层也作为过孔信号的返回路径，返回电流通过电容耦合流经参考层，引起地反弹等问题。 .
