超声等离子体发生的反应为物理反应，盐城大气等离子清洗机生产厂家射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响最大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。用于等离子体的加工材料在保持材料本身优良性能
