(3)在真空室等离子体设备的电位与地之间施加压力和高频电压，检测电镀附着力的设备破坏气体，通过光放电产生电离器和等离子体。真空室中产生的等离子体完全覆盖在被加工工件上，清洗工作开始。一般来说,洗涤过程持续10到10分钟。等离子清洗/生产等离子蚀刻机设备，检测电镀附着力的设备在密封容器中设置两个电极形
