但是仙童半导体公司(Fairchild semiconductor)和美国无线电公司(RCA)的研究人员认识到了MOS器件的优势。20世纪60年代,电路板plasma清洗机器卡尔·宁格和查尔斯·穆勒在rCA制造金属氧化物半导体晶体管。带控制杆的MOS四极管由Fairchild Semiconduct