等离子体起到以下作用：（一）材料表面的蚀刻在物理相互作用中等离子体大量的离子、激发分子、自由基等活性粒子作用于固体样品表面，电芯等离子体蚀刻机器去除表面原有的污染物和杂质，并会产生蚀刻，使样品表面变得粗糙，形成许多细小的坑洞，从而增加样品的比表面积。提高固体表面的润湿性。（二）激活键能。等离子体中粒
