氩离子加速产生的动能可以提高氧离子的反应能力，电子厂电晕机配件因此可以通过物理和化学方法去除污染严重的材料表面。目前广泛使用的清洗方法主要有湿法清洗和干洗两种。湿式清洗有很大的局限性。干洗在环境影响、原料消耗、未来发展等方面应明显优于湿法清洗。电晕清洗发展迅速，优势明显。电晕是粒子，如电子器件、离子
