参数失效是指器件电参数未优化，电晕机故障不能满足设计要求例如，芯片在额定工作电压下工作频率过低，静态功耗超过额定范围，传统上称为软失效。功能故障是指器件功能丧失，某些电参数根本无法测量，如存储器读写故障、逻辑电路运行结果错误等，传统上称为硬故障。参数失效主要与器件的各种物理参数有关，如栅尺寸、有源区
