在平行电极反应器中，电晕机开放式主机递归离子刻蚀室采用小阴极面积和大阳极面积的非对称设计，刻蚀剂放置在面积较小的电极上。鉴于频率发射主机电源形成的热运动效应，带负电荷的自由电荷量小、活动速度快，快速到达阴极的正离子量大、速度慢，不能同时到达阴极，因此在阴极附近形成带负电荷的鞘层。在鞘层的加速作用下，
