电晕在干洗方面具有明显的优势。本文主要介绍电晕的机理、类型、工艺特点及其在微电子封装工艺中的应用。1.导言微电子工业中的清洁是一个非常广泛的概念，电晕放电处理废水的方法包括与去除污染物相关的任何过程。通常是指在不破坏材料表面特性和电学特性的前提下，有效去除残留在材料上的灰尘、金属离子和有机杂质。目前
